MEMS란 무엇입니까? MEMS(Micro Electro Mechanical System)는 마이크로 기계, 마이크로 액추에이터, 신호 처리 및 제어 회로를 통합하여 일괄 제작할 수 있는 마이크로 장치 또는 시스템을 말합니다. 마이크로 기계 구조의 준비 공정에는 리소그래피, 이온 빔 에칭, 화학 에칭, 웨이퍼 본딩 등이 포함됩니다. 동시에, 전극은 전자 기술을 통한 제어를 위해 기계적 구조에 준비됩니다.
MEMS는 일종의 마이크로 모터 시스템입니다. 미세 기계 구조를 준비한 후에는 전자 기술로 구동해야 합니다. 일반적인 구동 메커니즘에는 정전기 인력, 전자기력, 전기 변형 및 열전대가 포함됩니다. MEMS 소자의 모든 구동 메커니즘 중에서 정전기 인력 구조는 준비가 간단하고 제어가 쉽고 전력 소비가 적기 때문에 가장 널리 사용됩니다.
MEMS 광 스위치는 실리콘 결정에 다수의 마이크로 렌즈를 조각하고 정전기력 또는 전자기력의 작용을 통해 마이크로 미러 어레이를 회전시켜 입력 빛의 전파 방향을 변경하여 광 경로의 온-오프 기능을 실현하는 것입니다. MEMS 광 스위치는 외부 제어 정보와 해당 하이 및 로우 레벨을 통해 광파 경로를 전환하여 내부 마이크로 렌즈의 리프팅 여부를 제어합니다.
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